等离子废气处理的工作原理是流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的 内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下， 产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染 介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子废气净化器吸附场的作用下被收集。